Ayaklimat.ru

Климатическая техника
6 просмотров
Рейтинг статьи
1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд
Загрузка...

Вакуумная техника электрофизических установок

Вакуумная техника электрофизических установок

Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru

2015-2020. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

АКТАН ВАКУУМ ПОСТАВЛЯЕТ СЛЕДУЮЩЕЕ ОБОРУДОВАНИЕ

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
Анализаторы остаточных газов (RGA)Вакуумметры
Вакуумные клапаныВакуумные затворы
Вакуумная арматураВакуумные сильфоны, вакуумные ПВХ шланги
Вакуумные камерыВакуумные вводы
Вакуумные масла и смазкиВакуумные окна
Вакуумные вводы вращенияДвери вакуумные быстрого доступа
ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
Турбомолекулярные насосыПластинчато-роторные двухкамерные насосы
ADVAVAC
Ловушки и фильтры для вакуумных насосовПластинчато-роторные одноступенчатые насосы
VACANT
Вакуумные спиральные насосы ACTAN VACSCROLLБезмасляные винтовые насосы
Вакуумные откачные посты
КОМПЛЕКТУЮЩИЕ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ
МагнетроныИонные источники и блоки питания
Термопаста для магнетроновКонтроллеры для прецизионного магнетронного
реактивного напыления
Блоки питания магнетроновНагреваемые подложкодержатели
Планетарные механизмыДроссельные заслонки
Токовводы для резистивного напыленияВЧ-генераторы и ВЧ-cогласующие устройства
Мишени для магнетронного напыленияОбезжиренная фольга
ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
Встраиваемые системы оптического контроляКварцевые измерители толщины напыляемых
пленок.
Держатели кварцевых кристалловКварцевые кристаллы
ТЕРМОВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Все вакуумные сушильные шкафы серий ТИРСАО качестве наших вакуумных шкафов
Вакуумные сушильные шкафы ТИРСА-Р на 250°СПреимущества и отличия вакуумных шкафов
Вакуумные сушильные шкафы ТИРСА-РС на 250°СНедостатки китайских термошкафов
Вакуумные сушильные шкафы ТИРСА-А на 250°СПромышленные вакуумные термошкафы до 600°С
Высоковакуумные термошкафы ТИРСА-АВ на 250°С

Вы можете ознакомиться со следующей информацией на нашем сайте:

НОВОСТИ КОМПАНИИ АКТАН ВАКУУМ. Архив новостей

03.11.2016.
Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont, проходившем с 06.10.2016 по 09.10.2016 в г. Пассау (Германия).
подробнее о тренинге

01.11.2016.

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее.

26.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО «АКТАН ВАКУУМ» приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее.

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ «Сокольники», павильон № 2
Наш стенд на выставке: А345 подробнее.
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

30.09.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования Aerospace Testing & Control 2015 с 27 по 29 октября 2015г. подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне «Крокус Экспо», пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки подробнее.

06.2015
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific.
подробнее о тренинге

02.2015. Начата поставка недорогих безмаслянных спиральных вакуумных насосов VACSCROLL.
Поставляем модельный ряд вакуумных безмаслянных спиральных насосов со скоростью откачки от 7 до 60 куб.м/час., которые успешно используются в полупроводниковых, пищевых, химических, вакуумных приложениях, и в исследовательских целях.

01.2015. Расширена номенклатура поставляемых вакуумных сильфонов и вакуумных шлангов из нержавеющей стали.
Вакуумные сильфоны. Вакуумные рукава. Вакуумные ПВХ шланги. Увеличена линейка вакуумных сильфонов и вакуумных сильфонных рукавов для фланцевых соединений KF CF ISO. Вы можете купить сильфоны и вакуумные сильфонные рукава от 10 см до 2 метров.

12.2014. Регуляторы расхода газа: на сайте добавлено новое применение — Система контроля вакуума с внешним ионизационным вакуумметром.
Система контроля вакуума с внешним ионизационным вакуумметром использует одноклапанный контроллер давления AlicatСистема контроля вакуума с внешним ионизационным вакуумметром использует одноклапанный контроллер давления Alicat специальной конфигурации. Контроллер вакуума с внешним ионизационным датчиком Alicat специально разработан для отрасли напыления в вакууме.

Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем. Купить вакуумное оборудование в интернет магазине eVacuum.ru

11.2014.
Компания АКТАН ВАКУУМ принимает участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее.

11.2014.

В ноябре 2014 года инженеры компании АКТАН ВАКУУМ прошли квалификационный тренинг в компании Ferrotec.
подробнее о тренинге.

10.2014.

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках

подробнее.

Контактный email: post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28, 8 (800) 200-24-08

Copyright © 2004-2020 АКТАН ВАКУУМ
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.

Устройство и работа вакуумной системы

Многочисленные области производства не мыслят свое существование без использования технологий вакуума. Металлургия, медицина, химическая индустрия, сушка, промышленность полупроводников – это лишь несколько примеров того, где используется вакуумная техника. Самым известным примером является упаковка продуктов, которые мы покупаем ежедневно в магазине, кто с нас не видел мясо в «вакуумной упаковке».

Однако применение этих технологий связано не только с потребительским сегментом. Исследования в области химии и медицины уже давно не представляют своего будущего без вакуума. Инструменты исследовательской аналитики не могут функционировать без определённых условий.

Но более всего, конечно, выигрывает от этих систем промышленность и водоподготовка.

Что такое вакуумная система?

Некоторые приборы попросту не функционируют без условий вакуума, поэтому эти условия создаются искусственно. Для этого необходима целая система поддержания состояния в отсеке или контейнере, состоящая из насоса и других компонентов, которые обеспечивают его бесперебойную работу. Кроме того, область вакуума необходимо ограничивать, что делается при помощи предохранителей, клапанов и затворов. И им же нужно управлять, для чего подключаются регулировщики каждого сегмента, которые бывают электронными или механическими, а также оснащаются тепловыми, ионизационными и деформационными датчиками.

Сама же система может создавать вакуум следующих уровней:

  • Вакуум низкого уровня, который применяется в упаковочной сфере и промышленности
  • Вакуум среднего уровня, который имеете зачастую металлургическое и фармацевтическое применение
  • Вакуум высокого и сверхвысокого уровня используется при создании устройств из категории высоких технологий (чипов, плат, телескопов, микроскопов и т.д.)

Вакуумом считается состояние газа с показателями давления ниже атмосферного. Соответственно, чем ниже давление в системе, тем более «высокого» вакуумного уровня оно считается. Значения областей давления за сверхвысоким порогом достигает 10 -11 Па, тогда как низкий вакуум начинается с 10 5 Па. Четких границ не существует, поскольку важны еще и условия создания такого пространства. Одно и то же давление в области при наличии дополнительных параметров считается, как средним, так и высоким вакуумом.

Разделение на категории происходит по силе взаимодействия молекул между собой, а именно в зависимости от длины их свободного пробега.

вакуум

Особенности каждого вида вакуума следующие:

  • Низкий вакуум имеет усреднённую длину пробега молекул ниже размеров области или сосуда (диаметр трубопровода, например)
  • Средний вакуум имеет длину пробега молекул, которая равна размерам области или сосуда

Сверхвысокий вакуум имеет также свою особенность: он практически не меняет свойства свободной от газа поверхности за какое-либо существенное время.

Создание определенного уровня вакуума зависит от применения насосов. Их количество варьируется в зависимости от сложности установки и целевого назначения всей системы. Концентрация молекул уменьшается во время процесса откачки.

От насосов и конденсаторов (их типов и количества) зависит степень дегазации пространства. Конденсаторы называют ловушками, потому что они собирают газы и пары на холодных поверхностях, а также впитывают их при помощи пористого сорбента (другой тип ловушки). В некоторых случаях для удаления отдельных элементов газов используется ионизация.

Схема простой вакуумной системы

Вакуумные системы состоят из таких компонентов:

  • Два/три насоса, соединённые в определённой последовательности
  • Регуляторов давления и потоков газа
  • Ловушек, улавливающих пары
  • Приборов для измерения состояния области вакуума
  • Затворов, предотвращающих разгерметизацию
  • Трубопроводов, по которым перемещается газ и производится откачка

вакууме

На схеме видно, как последовательно должны включаться высоковакуумный и низковакуумный насосы для откачки. Низкий вакуум при этом создается с помощью форвакуума. Все насосы в обязательном порядке соединяются с ловушками, которые устанавливают над устройствами. Ловушки служат предохранителями сосуда с откачиваемым объектом. Их предназначение в том, чтобы не допустить попадания вещества насосов в вакуумную среду, а также поймать нежелательные в области откачки газы.

Низковакуумный насос в предложенном примере оснащен ловушкой, которая предохраняет высоковакуумный насос от попадания паров форвакуума.

Вся система соединяется при помощи клапанов и затворов. На схеме трубопроводы отображаются простыми основными линиями, какого бы функционального назначения они не были.

Основная часть вакуумной системы – это камера, в которой и создаются необходимые условия за определённое время на определённый период. На схеме данная камера названа «откачивающим объектом».

Существует классификация камер по типу применения оборудования по созданию вакуума для следующего:

  • Механической обработки
  • Термообработки
  • Синтеза металлов или элементов
  • Проведения экспериментов
  • Нагрева

Кроме того, камеры подразделяются по степени охвата сопутствующего оборудования для работы в вакууме:

  • Машина или агрегат, в которой содержится все оборудование (основное и дополнительное)
  • Механизм – эта часть технических устройств находится внутри

Функциональное назначение камер вакуума бывает следующее:

  • Ввод-вывод – загрузка и транспорт объекта обработки
  • Предварительная подготовка для материалов, передающихся потом к основному узлу
  • Шлюзовая камера, где создаётся или понижается давление последовательно

Соединения между камерами, ловушками и насосами обеспечивают трубопроводы, которые также бывают разных типов (форвакуумный, вакуумный, байпасный и т.д.). Это основная часть любой схемы вакуумной системы, поскольку она соединяет все элементы воедино, обеспечивая бесперебойную работу и взаимосвязанные процессы включения/отключения оборудования.

Что собой представляет автоматическая вакуумная система?

Автоматика используется в таких процессах, которые требуют долгого времени бесперебойной работы вакуумной установки.

Сферы применения таких систем вакуума обычно включают:

  • Большие заводы и производства с налаженными автоматическими линиями
  • Сферы, где требуется загрузка/выгрузка тяжелых грузов (например, древесины)
  • Пожарные автомобили для систем водозаполнения насосов
  • Медицинские учреждения
  • Промышленность всех видов
  • Автомобильное устройство
  • Системы умного дома

В отличие от обычных вакуумных систем автоматические системы оснащены встроенными логическими контролирующими элементами. Именно контроллер управляет всеми частями работы установки, а в случае ошибки или поломки подключает резервные системы. Таким образом, для обслуживания не нужно постоянное или даже временное присутствие персонала, а достаточно проверять состояние вакуума по экранам контроллеров.

Также автоматизированные системы внедряются централизовано, чтобы охватить несколько областей производства или экспериментальных процессов на предприятии. Автоматика позволяет управлять работой установок централизовано и удаленно. Небольшие вакуумные системы имеют около 20 различных параметров, которые настраиваются под пользователя и его нужды. Крупные установки могут оснащаться расширенным функционалом.

вакуум

Преимуществами автоматических вакуумных систем:

  • Отсутствие необходимости сложного техобслуживания: замены пластин, фильтров масла или самого масла в камере
  • Отсутствие высокого риска смешивания масляной пыли с откачиваемыми газами, поскольку компоненты блокируются автоматически
  • Энергоэффективность, поскольку за счёт упрощения процессов и потребление энергии сокращается

Как правило, автоматика оснащается двумя и более насосами, поскольку один требует гарантии проведения техобслуживания (для этого систему и должны отключить). Два насоса обеспечивают надежность работы, а если в установке их три, то ещё и гарантируют включение резервной системы при возможных неполадках. В зависимости от назначения создания вакуума системы откачки используются параллельно или попеременно.

Устройство вакуумных систем

Как уже упоминалось, система вакуума – это набор устройств, которые призваны создавать, поддерживать и регулировать состояние вакуума в определенной области. В систему входят элементы измерения, откачки, связующие звенья, устройства герметизации и другие сборочные элементы. Конструкция вакуумной системы зависит от ее назначения и характеристик элементов, входящих в ее состав.

вакууме

Основные элементы устройства вакуумной системы:

  • Камеры, в которых и создаются условия вакуума
  • Трубопроводы, которые перемещают газы по системе
  • Запорно-регулирующие аппараты, предназначенные для герметичности и перекрытия коммуникаций внутри системы
  • Противоаварийные установки, служащие для перекрытия трубопроводов при возникновении неполадок (работают за доли секунды)
  • Напускные установки для плавного регулирования давления, которые запускают воздух или газ в систему
  • Соединения, обеспечивающие герметичность и взаимосвязанность всех элементов установки
  • Насосы для дегазации

Классификация всех элементов производится по их назначению в конкретно взятой вакуумной системе. Камеры и трубопроводы имеют самый большой разброс характеристик, поскольку могут находиться в разных частях установки и применяться, как промежуточные звенья, так и конечные элементы системы.

Запорные аппараты, которые регулируют все процессы внутри сложной агрегатной системы, применяются на всех уровнях вакуума:

  • Клапаны
  • Маятники
  • Шиберные затворы

Все они бывают разных приводов: от полноценной механики до электрических модификаций в автоматических системах (электро-механические, электромагнитные, пневматические или гидравлические). Не последнюю роль играет способ, которым эти «малыши» обеспечивают герметизацию всех узлов вакуумной системы. Применяется уплотнитель или расплавляемые металлы.

В условиях высокого и сверхвысокого вакуума клапаны срабатывают очень часто, особенно при прогревах, поэтому, в таких системах используют усиленную герметизацию.

Соединения запорных аппаратов и других элементов системы подразделяют установки вакуума на такие виды:

    Разъемные, которые можно спокойно разбирать, и детали не будут деформированы или разрушены в процессе

Выбор одного из двух способов стыковки элементов зависит от условий создания вакуума и рабочих температур.

Работа вакуумных систем

Устройство и работа вакуумной системы

Получить вакуум можно при помощи удаления газа из камеры. В одном случае газ направляется вне вакуумной системы, а в другом связывается внутри установки. Для этого используются насосы, запускающие весь процесс создания условий в камере.

Газ перемещается по системе порциями, но непрерывно. Его удаление происходит через изоляцию в рабочей камере насоса, а затем передачу за пределы откачивающего элемента. Это происходит при помощи сжатия газа в процессе перемещения так, чтобы его давление было больше, чем давление на выходе из насоса.

Во время работы откачивающих систем вакуума возможны следующие негативные явления:

  • Проникают пары в объект откачки (в вакууме)
  • Откачиваемые вещества загрязняют насос
  • Происходит потеря рабочей жидкости

Во всех этих случаях применяются ловушки, которые запускаются вместе с насосами в системе. Обычно на каждый насос существует своя ловушка, которая выступает предохранителем для условий, создающихся в камере.

Цикл откачки и удаления нежелательных элементов повторяется снова и снова, пока в камере не будет достигнуты необходимые условия вакуума. Поддержание этого состояния зависит от регулярности работы насоса, а также клапанов системы. Насосы, которые связывают газы, не откачивают их, а захватывают в твердом состоянии. И те, и другие имеют трудности и ограничения, особенно, когда необходимо откачать водород или неон.

Последовательное соединение насосов обеспечивает их цикличную работу на разных ступенях. Это применяется для создания сверхвысокого и высокого вакуума. Откачка газа проходит несколько этапов регуляции и изменения давления в системе, постепенно достигая нужной отметки дегазованности. Впоследствии условия поддерживаются в камере через повторное включение насосов и герметизацию объекта откачки.

Примером тому является система принудительного вытеснения. Она имеет ручной водяной насос, который внутри самого себя способен создать герметичную область вакуума. Происходит перепад давления и жидкость из целевой камеры (например, колодца) перемещается в эту область, после чего она закрывается со стороны целевой камеры, но открывается в сторону атмосферы. В процессе область сжимается до минимально возможного размера, что и выталкивает жидкость дальше. Поддержание в насосе вакуума обеспечивается расширением и закупориванием области перемежающимися периодами прохождения через полость воды.

Вакуумные системы и установки. Вакуумная техника. Установки напыления. Вакуумные насосы для установок и систем

Вакуумные системы, это комплекс взаимосвязанных элементов, обеспечивающих создание и поддержание заданного разрежения в определенном объеме. Все вакуумные системы разделяются по степени разрежения на системы низкого, высокого и сверхвысокого вакуума.

Кроме того, вакуумные системы

Основные компоненты вакуумных систем:

Некоторые элементы из перечисленных выше могут отсутствовать, все зависит от конкретных требований, предъявляемых к системе. Кроме того, могут дублироваться некоторые или даже все элементы, обеспечивая непрерывное поддержание заданного разрежения. Полностью автоматическая вакуумная система способна самостоятельно подключать дополнительные модули в работу, управлять запорной арматурой и постоянно поддерживать необходимую степень разрежения в заданных объемах.

Чертежи вакуумных систем в каждом конкретном случае разрабатываются с учетом требований заказчиков и должны соответствовать требованиям НТД. Они являются неотъемлемой частью любого проекта, учитывают все переменные факторы и разрабатываются обученными специалистами.

В качестве примера можно привести медицинские вакуумные системы, отключение которых может оказаться фатальным во время хирургической операции. Каждый датчик вакуумной системы такого типа обязательно дублируется, часто применяется полное дублирование системы и автономное питание. Автоматическая вакуумная система поддерживает необходимое разрежение, включая и выключая насосы, откачивающие воздух согласно показаний датчиков.

Основное применение вакуумные системы получили для:

Арматура для вакуумных систем различается на запорную, предохранительную и регулирующую. Некоторые виды регулирующей арматуры могут заменять запорную при необходимости. К запорной арматуре относится большинство вакуумных и обратных клапанов, имеющих 2 положения и обеспечивающих только отсекание (проход) рабочей среды, регулирующие и предохранительные устройства.

Рабочий макет вакуумной установки, применяемый для обучения студентов:

вакуумные системы и установки

Вакуумная установка (напыление)

Вакуумные установки, применяемые для напыления, бывают периодического, полунепрерывного и непрерывного действия. Для массовой и серийной обработки деталей, применяются вакуумные установки непрерывного действия. Установки периодического и полунепрерывного действия могут иметь несколько загружаемых рабочих камер или одну, загружаемую несколькими позициями. Процесс напыления можно разбить на несколько операций:

  • загрузка деталей и герметизация рабочей камеры;
  • создание необходимого разрежения;
  • испарение или распыление напыляемого материала;
  • термическая обработка напыления;

Вакуумное напыление получило применение при изготовлении различных электронных плат, нанесении тонировки на стекла автомобилей и металлизации некоторых пластиков. Обычно вакуумные установки для напыления имеют в своей конструкции следующие элементы:

  • герметизируемое замкнутое пространство (рабочая камера);
  • источник испарения или распыления напыляемых материалов;
  • создающей разрежение системы, в которую входит насос и трубопроводы со всей запорной, регулирующей и предохранительной арматурой;
  • датчики, соединенные с управляющей процессом системой;
  • транспортера или другого подающего устройства;
  • дополнительных устройств (фильтров, манипуляторов, приводов, фильтрующих установок).
  • Вакуумное напыление может осуществляться с помощью:
  • катодного распыления материалов (электрический ток подается на распыляющийся катод, а так как деталь выполняет роль анода, распыленный материал напыляется на него);
  • магнетронного распыления;
  • ионно-плазменного распыления катодов;

Так как при повышении температуры поверхности обрабатываемой детали происходит отторжение наносимых частиц, поэтому очень важным является правильно организованное охлаждение. В зависимости от применяемого для создания разрежения оборудования, получает название вся установка. Например, вакуумная установка водокольцевая означает применение водокольцевых насосов при откачке газов из рабочей камеры.

Существует множество вакуумных установок, отличающихся принципом нанесения напыления, применяемым типом вакуумных насосов, степенью автоматизации, объемом и другими элементами. В качестве примера можно привести вакуумные установки УВ-24С, УВ-947, Булат-3Т, УВН-15, Магна 2М, Оратория-9 и множество других на их основе.

Схема вакуумной установки для магнетронного напыления металлов:

Оборудование вакуумных систем (арматура, фланцы, датчики)

Наиболее распространенной ошибкой при конструировании вакуумных систем является усложнение проекта и наличие множества лишних элементов. Это могут быть как лишние задвижки, повлекшие дополнительные места для герметизации, датчики, расположенные в неудобных местах и постоянно разрушаемые, фланцы, установленные там, где можно было обойтись цельной конструкцией.

Производители вакуумного оборудования в большинстве случаев изготавливают оборудование, отвечающее требованиям заказчика по производительности, максимально возможному разрежению и скорости откачки. На высокопроизводительных системах установка лишних элементов может вызвать их разгерметизацию и не обеспечить срабатывание предохранительных устройств. Поэтому, следует учесть, что вакуумная система, сконструированная непрофессионально, может быть не только неудовлетворяющей условиям эксплуатации, но и опасной для обслуживающего персонала.

Вся арматура, используемая при монтаже вакуумных систем, должна полностью соответствовать условиям эксплуатации и изготавливаться с применением соответствующих технологий. Производство вакуумного оборудования должно быть основным направлением работы предприятия, поставляющего все элементы системы.

Датчик для работы в глубоком вакууме:

оборудование вакуумных систем

Вакуумная техника (техника создания и поддержания вакуума)

Вакуумная и компрессорная техника имеют во многом сходные свойства. Довольно часто производители компрессорного оборудования изготавливают вакуумные системы и их элементы. Производство вакуумной техники основано на дополнительных методах обработки оборудования, достижению максимальной герметизации систем.

Технологии создания и поддержания вакуума совершенствовались с течением времени. На данный момент вакуумная наука и техника позволяют создавать разрежение, соответствующее глубокому космическому вакууму.

Вертикальные и горизонтальные вакуумные насосы:

вакуумная техника

Вакуумные насосы (виды и применение)

Существует несколько применяющихся видов вакуумных насосов. Каждый из них обладает своими достоинствами и недостатками, что обеспечивает свою сферу применения.

Водокольцевой насос получил свое название из-за того, что разрежение в вакуумной системе создается при помощи постоянного кольца воды в рабочей плоски. Вал насоса расположен со смещением, благодаря чему с одной стороны насоса лопасти проходят вплотную к корпусу (не задевая его), а с противоположной стороны имеется значительное расстояние до стенки.

При вращении лопасти рабочего колеса захватывают жидкость(воду), закручивая ее в виде кольца. Действующие при этом силы трения вызывают нагрев жидкости, поэтому вода в кольце постоянно подменяется свежей. Так как отсос газа происходит с помощью водяного кольца, то большинство абразивных загрязнений откачиваемой среды отфильтровывается и выходит чистый газ.

Такие насосы очень просты в обслуживании, производят быструю откачку газов, нетребовательны к их составу, но не могут создавать глубокое разрежение, что ограничивает их применение в промышленности.

Схема работы водокольцевого насоса:

вакуумная техника

Где точка Н показывает место наивысшего сжатия откачиваемого газа (подсоединение выпускного патрубка), В – вход в насос, К – водяное кольцо.

Пластинчато-роторный насос осуществляет откачку газов за счет эксцентрично расположенного по отношению к корпусу вала. На валу имеются специальные отверстия, в которые установлены пружины. Под действием пружин лопасти постоянно прижимаются к корпусу, образуя герметичные по отношению друг к другу камеры. При вращении ротора каждая камера меняет свой объем от минимального (при этом происходит максимальное сжатие находящихся в ней газов) до максимального (создавая при этом разрежение). Для того, чтобы уменьшить трение пластин о корпус, применяется специальное масло.

Сфера применения ограничена, так как требуется фильтрующее устройство, гарантирующее отсутствие абразивных частиц в откачиваемых газах и в исходящих газах присутствуют пары масел.

Схема работы пластинчато-роторных насосов:

Вакуумные системы и установки. Вакуумная техника. Установки напыления. Вакуумные насосы для установок и систем

Форвакуумный насос может быть различного типа, например, роторно-пластинчатым, водокольцевым, золотниковым. Главной задачей таких насосов является максимально быстрое создание форвакуума (предварительного разрежения) для обеспечения работы насосов, обеспечивающих высокое разрежение. Это связано с тем, что некоторые модели насосов имеют незначительную скорость откачки при нормальном атмосферном давлении и им требуется максимально возможное разрежение для создания глубокого вакуума.

В качестве второй ступени в форвакуумных насосах применяются турбомолекулярные, паромасляные диффузные и другие виды насосов.

Насосы Рутса осуществляют откачку газовых смесей благодаря наличию двух, вращающихся синхронно, роторов. Один из роторов получает вращательное движение от двигателя, а другой приводится в действие шестеренчатой передачей, обеспечивающей синхронность вращения. Конструкция позволяет создавать даже высокое разрежение, но требует обязательной очистки поступающего в рабочую камеру газа.

Схема работы 2-хкулачкового (поз «а») и 3-хкулачкового (поз «б») насосов Рутса:

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ».

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» создан для эффективной электронно-ионно-плазменной модификации поверхности материалов и изделий и включает в себя шесть вакуумных пучковых и плазменных установок.

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»:

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» (УНУ «УНИКУУМ») создан для эффективной электронно-ионно-плазменной модификации поверхности материалов и изделий.

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» включает шесть вакуумных пучковых и плазменных установок «СОЛО», «ДУЭТ», «ТРИО», «КВАДРО», «КВИНТА» и «КОМПЛЕКС». Установки способны к генерации субмиллисекундных интенсивных электронных пучков, низкотемпературной плотной газовой и металлической плазмы , а также смешанной газометаллической плотной плазмы как самостоятельных, так и несамостоятельных сильноточных разрядов низкого давления. Однородная плазма, синтезированная в значительных ≥ 0,1 м 3 вакуумных объёмах в данных установках, используется как для непосредственной обработки поверхности материалов и изделий (очистка, активация, азотирование, напыление покрытий ), так и в качестве эффективного эмиттера электронов и ионов в источниках заряженных частиц.

С помощью комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» можно осуществлять следующие технологические операции:

– комплексную электронно-ионно-плазменную модификацию поверхности металлических и металлокерамических материалов и изделий (включая твердые карбидные сплавы типа WC-Co и TiC-NiCr) в едином вакуумном цикле,

– обработку органических материалов и продуктов высокоэнергетичным (до 200 кэВ) импульсным электронным пучком (модификация структуры, стерилизация и активация поверхности),

– нанесение декоративных, износостойких , термобарьерных, антикоррозионных, твердых и сверхтвердых покрытий (и иных уникальных покрытий) методом плазменно-ассистированного электродугового напыления (в т.ч. нанесение многокомпонентных и многослойных покрытий),

– азотирование титановых и стальных деталей в плазме несамостоятельного дугового разряда низкого давления,

– электронно-пучковую модификацию поверхности металлических и металлокерамических материалов и изделий (полировка, упрочнение поверхности, повышение коррозионной стойкости), в том числе миксинг покрытий.

Возможности и особенности комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»:

– нанесение твердых и сверхтвердых покрытий с регулируемой in situ стехиометрией;

– обработка систем покрытие /подложка с возможностью перемешивания материала покрытия (толщиной

1 мкм) с материалом подложки на глубину до 20 мкм;

– электронно-пучковая абляция материала мишени с возможностью нанесения различных покрытий и их последующим перемешиванием с материалом подложки в одном цикле вакуумной откачки;

– проведение комплексных процессов обработки, включающих ионную очистку, диффузионное насыщение и напыление покрытий ,

– глубина ионно-плазменной обработки – до 500 мкм;

– возможность обработки изделий сложной формы (штампы, пресс-формы);

– возможность конвейерной обработки материалов и изделий;

– возможность использования композиционных катодов;

– возможность одновременного или поочередного использования двух материалов катода;

– возможность использования манипулятора.

Ссылки на источники:

Ниже указаны ссылки на источники:

Примечание: описание технологии на примере комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ».

Оборудование для термовакуумных испытаний компонентов космической промышленности

Удаление связанных жидкостей и газов в среднем/высоком вакууме.

Проверка электрических характеристик оборудования и функционирования систем в условиях вакуума при экстремальных значениях температур

Экспериментальное подтверждение того, что система обеспечения теплового режима поддерживает заданные эксплуатационные температурные пределы приборов

Основные характеристики термовакуумных камер

Таблица характеристик термовакуумных камер

Термовакуумная камера (вид.2)

Конструкция камер

Механическая система охлаждения представляет собой двухкаскадную компрессорную систему охлаждения с полугерметичными компрессорами. Для отвода теплоты во внешнюю среду может использоваться как водяной, так и воздушный конденсатор. В установке применены озонобезопасные хладагенты R404A и R23

Конструкция термовакуумной камеры (схема1)

В качестве универсального теплоносителя для нагрева и охлаждения термоэкранов применяется полисиликоновое масло, имеющее низкую вязкость при отрицательных температурах, достаточно большую теплоемкость и обладающее долговременной стабильностью.

Конструкция термовакуумной камеры (схема 2)

Откачная система

Двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос с масляным уплотнением имеет простую и надежную конструкцию. Для обеспечения режима высокого вакуума используется гибридный турбомолекулярный насос с передовой технологией 5-ти осевого магнитного подвеса, производства лидирующей компании в области вакуумных технологий. Турбомолекулярные насосы среди средств высоковакуумной откачки являются наименее требовательными в обслуживании. Установка шиберного затвора на входе в магистраль откачки исключает необходимость ожидания полной остановки турбомолекулярного насоса при завершении испытаний и необходимости открытия двери, а также позволяет сократить время выхода на режим, обеспечивая «сохранение вакуума» в системе откачки.

Откачная система термовакуумной камеры (схема 1)

Корпус камеры: вакуумная обечайка

Корпус камеры: вакуумная обечайка (схема)

Термоэкраны с теплоносителем

Термоэкраны обеспечивают равномерный прогрев/охлаждение объекта испытаний со всех сторон за счёт лучистого теплообмена. Термоэкраны представляют собой сваренные между собой пластины из нержавеющей стали с сформированными каналами, по которым прокачивается теплоноситель. Внутренняя поверхность термоэкранов окрашена в черный цвет специальной краской, имеющей низкое парциальное давление паров. Внешняя поверхность отполирована.

Термоэкраны с теплоносителем (рис 1)Термоэкраны с теплоносителем (рис 2)

Опция солнечного излучения

Предназначена имитации теплового потока, ожидаемого в течение этапов эксплуатации.

Для имитации солнечного излучения с регулируемой интенсивностью используются металл-галогеновые лампы. Размещения ламп согласуется в зависимости от задачи. Спектр применяемых ламп близок к спектру естественного солнечного излучения, как в УФ, так и в ИК части. Блок высоковольтного розжига и электронный регулируемый балласт для ламп размещаются в отсеке для электрооборудования лампы в непосредственной близости от камеры.

Тепловой графикВариант конструкции излучателя

Измерительная система

Компактный широкодиапазонный вакуумметр, позволяет измерять давление в диапазоне от атмосферного до 10-9 мм рт.ст. Для измерения вакуума прибор использует два датчика: в диапазоне от атмосферного давления до 10-2 работает высоконадежный кристаллический кварцевый датчик, если давление ниже 10-2 мм рт.ст. используется двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом.

Элемент платиновый чувствительный Pt100, класс допуска А, в комбинации с вторичным прибором — модулем ввода аналоговых сигналов класса точности 0.25.

ГОСТ Р 56469-2015: Контрольно-испытательная аппаратура, используемая при испытаниях, должна обеспечивать технически обоснованную точность регистрируемых данных.

Система управления

Интерфейс управления камерой

Всё применяемое программное обеспечение собственной разработки и полностью на русском языке. По запросу Заказчика возможно оснащение дополнительными опциями и адаптация интерфейса под требования и пожелания пользователя.

В стоимость входит программное обеспечение (ПО) для отображения данных и управления камерой с любого компьютера или мобильного устройства, подключённого к камере по Wi-Fi или Ethernet. Возможен доступ через Internet.

  • Возможна интеграция с CALS системами Заказчика
  • Данные сохраняются во внутреннюю память
  • Есть возможность шифрования данных
  • Опционально поставляется ПО для управления сетью испытательных камер

Интерфейс управления содержит:

  • отображение текущего и заданного значения давления
  • запись процесса испытаний в графическом виде с функцией масштабирования
  • журнал событий
  • мнемосхемы работы технологических систем
  • систему контроля учетных записей

Опыт эксплуатации

На основании имеющегося опыта эксплуатации модельной линейки, состоящей из камер объемом 400, 1000 и 3000 литров в базовом предложении на поставку камер данной серии предоставляется расширенная гарантия на 2 года.

По результатом исследований рынка разработана серия камер в экономичном исполнении, позволяющая значительно сократить затраты, сохранив при этом почти все технические характеристики.

голоса
Рейтинг статьи
Читайте так же:
Установки по термической переработке твердых бытовых отходов
Ссылка на основную публикацию
Adblock
detector